1.设备名称：场发射中山扫描电子显微镜

　　2.型号：Merlin Compact

　　3.配件：X射线能谱仪(Xflash/30);氩离子抛光系统(685.C)

　　4.制造厂家：德国中山蔡司

　　5.功能及用途

　　场发射中山扫描电子显微镜可对样品实现超高分辨率的微观形貌观察，配备了安装在镜筒内正光轴上的环形二次电子(In-lens)和能量选择背散射式In-lens Duo探测器，带有能量过滤栅网，可分别获得二次电子或背散射电子图像，在低电压下，其二次电子和背散射电子均具有卓越的分辨能力;样品室二次电子探测器;角度选择背散射电子探测器(AsB);X射线能谱仪(EDS);红外CCD相机。通过接收特征X信号，能快速进行样品元素高精度的点、线、面扫描分析。利用氩离子抛光系统(配备有液氮冷台)对样品进行扇形截面(扇形角度为10到90度可调)和平面抛光，可实现对页岩纳米孔隙的观测。

　　6.主要技术指标

　　a.分辨率：0.8 nm@15kV;1.6nm@1kV。

　　b加速电压范围：20V-30kV，以10V步进连续可调。

　　c.放大倍数范围：12x-2,000,000x，高倍率与低倍率连续调。

　　d.探针电流：范围5pA-20nA。

　　e.可分析元素范围：Be4-Am95。

　　f.能量分辨率：优于129eV(Mn K);F元素K峰优于62eV;C元素K峰优于54eV。