西安扫描电子显微镜EBSD可以用来鉴定材料中主要的物相和次要的物相。包括识别金属间化合物相、第二相、处理后材料的析出物和自然材料中的矿物组成等。
除了确定未知相，EBSD的另一个好处是将这些物相的空间分布可视化。这一点非常重要，例如，可以观察第二相是在晶粒内还是晶界出现。
通常EBSD可以区分不同晶体结构的相，EDS可以显示化学成分。用一个复杂的分析系统将这两个系统的结果结合起来，便可以识别和区分未知的相或化合物。
物相鉴定(识别一个未知的物相)
如果EBSD和EDS系统以合适的几何位置，集成安装在扫描电镜上，就可以将电子束对焦在每个潜在的物相上，同时获得EBSD花样和EDS。系统可以在晶体结构数据库中，搜索匹配EDS测定的相成分，返回一个备选的物相列表。对列表中每个物相，再利用EBSD花样来标定，从而识别物相。
物相区别(区分物相)
当材料中有多个已知相，EBSD可以用于区分这些相。因此，可以确定各个相的空间分布和相含量.
电子束与样品表面的晶体结构作用时产生衍射花样。电子背散射衍射花样(EBSP)携带有产生该花样处的晶体的结构信息。通过分析电子背散射衍射花样(EBSP)，我们不仅可以获得晶体取向信息，也可能获得区分不同晶体结构的信息，从而区分相.
通常情况下，通过分析检测带间的夹角来分析电子背散射衍射花样。如果只使用这个信息，那么可以区别具有不同单胞结构的相，只要晶胞结构差别足够明显，那么晶面间的角度就是不同的。
如果采用更的程序，从电子背散射衍射花样中可以提取到更多的信息(比如衍射带宽度)，那么就可以区分具有相同晶体结构但晶格参数不同的相。然而，这种方法有一定的局限性，因为电子背散射衍射花样的差异要可靠地检测到，需要晶格参数差异足够大。
