使用西安扫描电镜这样的高精密仪器,掌握正确的操作方法及良好的操作习惯意义非常重要,不仅是因为仪器价格昂贵,维修复杂,更是为了得到理想的试样图像及成分数据,本文就来介绍一下扫描电镜通的操作方法以及一些注意事项,希望每个接触扫描电镜的科研人,或是仪器人都能掌握扫描电镜的操作的技巧,充分利用仪器的价值,实验和研发都能事半功倍!
扫描电镜的基本操作流程
开机(电源开关和准备开关均为打开状态)
■开水(系统不报警方可);
■开扫描电镜总电源;
■电气柜后面开关打开,将自动/手动(AUTO/MAN)开关拔到自动(AUTO)的位置,此时电炉进行加热:
■抽真空30分钟后, 断开准备开关;
■开扫描电镜系统软件;
■打开主机前面面板上的电气柜开关,抽真空10分钟。
准备观测图像
■打开V1阀,此时镜筒真空已准备好,用左手延径水平方向拉开V1阀,阀杆下面的弹片将V1阀固定在打开位置;
■加高压(30KV)导电性不好的产 品(20-25KV),加高压时Z好按着每步的速度逐步增加,如果长按按钮,高压会连续快速增加,不容易控制到要求的数值;
■调节扫描电镜对比度和亮度:
①调节对比度,使图像上出现- -些噪声为Z佳,一般情况下在60左右;
②调节图像亮度,使屏幕显示的灰度合适,一般情况下,相应的数字参数值为0-20左右;
■加灯丝:顺时针慢慢旋转灯丝加热旋钮,直至发射束流饱和,灯丝加热旋钮指示正常在6-7之间,调节偏压束流为100uA左右;
■机械对中:扫描电镜每次换灯丝后需旋转镜筒头上的三个螺钉,使图像显示到最清楚的点;
■物镜光阑对中(合轴):
①选区,并挑选图像上的-一个特征点;
②选择放大倍数1 000-2000范围;
③反复调节粗调,使图像聚焦至不聚焦往反进行,观察图像的移动;
④调节物镜光阑的两个螺钮,使图像不发生位移或图像移动Z小为止;
系统停机
■关闭扫描电镜加热灯丝:逆时针旋转灯丝加热旋钮到底,旋钮标记指示在"ON"的位置,束流显示的束流为0UA;
■将对比度降至更低,使其数字参数值为0,关闭高压,使其数字参数值为0;
■关闭V1阀:用左手将V1阀阀杆下面的弹片沿上按在阀杆上,用手掌径向水平推V1阀,当V1阀完全推到底后,再用力推一下V1 阀的阀杆,确保V1阀完全关闭;
关闭扫描电镜主机面板.上的电气柜开关,打开准备开关,将主机后的开关自动/手动(AUTO)/(MAN)打到手动(MAN)的位置,冷却电炉30分钟。
关闭系统软件-关电气柜开关-关总电源→关水。
要获得一张清晰的扫描电镜照片,必须要能够做好基本的电镜操作、以及针对各种样品做出工作条件的优化。