使用扫描电镜这样的高精密仪器，掌握正确的操作方法及良好的操作习惯意义非常重要，不仅是因为仪器价格昂贵，维修复杂，更是为了得到理想的试样图像及成分数据，本文就来介绍一下扫描电镜通的操作方法以及一些注意事项，希望每个接触扫描电镜的科研人，或是仪器人都能掌握扫描电镜的操作的技巧，充分利用仪器的价值，实验和研发都能事半功倍!

蔡司扫描电镜

　　扫描电镜的基本操作流程

　　开机(电源开关和准备开关均为打开状态)

　　■开水(系统不报警方可);

　　■开扫描电镜总电源;

　　■电气柜后面开关打开，将自动/手动(AUTO/MAN)开关拔到自动(AUTO)的位置，此时电炉进行加热:

　　■抽真空30分钟后， 断开准备开关;

　　■开扫描电镜系统软件;

　　■打开主机前面面板上的电气柜开关，抽真空10分钟。

　　准备观测图像

　　■打开V1阀，此时镜筒真空已准备好，用左手延径水平方向拉开V1阀，阀杆下面的弹片将V1阀固定在打开位置;

　　■加高压(30KV)导电性不好的产 品(20-25KV),加高压时Z好按着每步的速度逐步增加，如果长按按钮，高压会连续快速增加，不容易控制到要求的数值;

　　■调节扫描电镜对比度和亮度:

　　①调节对比度，使图像上出现- -些噪声为Z佳，一般情况下在60左右;

　　②调节图像亮度，使屏幕显示的灰度合适，一般情况下，相应的数字参数值为0-20左右;

　　■加灯丝:顺时针慢慢旋转灯丝加热旋钮，直至发射束流饱和，灯丝加热旋钮指示正常在6-7之间，调节偏压束流为100uA左右;

　　■机械对中:扫描电镜每次换灯丝后需旋转镜筒头上的三个螺钉，使图像显示到最清楚的点;

　　■物镜光阑对中(合轴):

　　①选区，并挑选图像上的-一个特征点;

　　②选择放大倍数1 000-2000范围;

　　③反复调节粗调，使图像聚焦至不聚焦往反进行，观察图像的移动;

　　④调节物镜光阑的两个螺钮，使图像不发生位移或图像移动Z小为止;

　　系统停机

　　■关闭扫描电镜加热灯丝:逆时针旋转灯丝加热旋钮到底，旋钮标记指示在"ON"的位置，束流显示的束流为0UA;

　　■将对比度降至更低，使其数字参数值为0，关闭高压，使其数字参数值为0;

　　■关闭V1阀:用左手将V1阀阀杆下面的弹片沿上按在阀杆上，用手掌径向水平推V1阀，当V1阀完全推到底后，再用力推一下V1 阀的阀杆，确保V1阀完全关闭;

　　关闭扫描电镜主机面板.上的电气柜开关，打开准备开关，将主机后的开关自动/手动(AUTO)/(MAN)打到手动(MAN)的位置，冷却电炉30分钟。

　　关闭系统软件-关电气柜开关-关总电源→关水。

　　要获得一张清晰的扫描电镜照片，必须要能够做好基本的电镜操作、以及针对各种样品做出工作条件的优化。