FIB双束扫描电镜系统就是把FIB系统和传统扫描电子显微镜系统按一定的角度同时装在一个装置上，把试样调节到共心高度位置。这就使得试验时可通过转动试样台使试样表面与电子束或者离子束垂直，从而最终达到对电子束进行实时观测和对离子束进行切割或者微加工等效果。

　　FIB-SEM双束扫描电镜功能及应用

　　1、FIB-SEM的主要功能包括:

　　①电子束成像，用于定位样品、获取微观结构和监测加工过程;

　　②离子束刻蚀，用于截面观察和图形加工;

　　③气体沉积，用于图形加工和样品制备;

　　④显微切割制备微米大小纳米厚度的超薄片试样(厚度小于<100 nm)，用于后续的TEM和同步辐射STXM等相关分析;

　　⑤显微切割制备纳米尺寸的针尖状样品，用于后续的APT分析，获取其微量元素和同位素信息;

　　⑥综合SEM成像、FIB切割及EDXS化学分析，对试样进行微纳尺度的三维重构分析等。

　　2、FIB-SEM的主要应用：

　　①微纳结构加工;

　　②截面分析;

　　③TEM样品制备;

　　④三维原子探针样品制备;

　　⑤芯片修补与线路修改;

　　⑥光刻掩膜版修复;

　　⑦三维重构分析等。