1.设备名称：场发射扫描电子显微镜

　　2.型号：Merlin Compact

　　3.配件：X射线能谱仪(Xflash/30);氩离子抛光系统(685.C)

　　4.制造厂家：德国蔡司

　　5.功能及用途

　　场发射扫描电子显微镜可对样品实现超高分辨率的微观形貌观察，配备了安装在镜筒内正光轴上的环形二次电子(In-lens)和能量选择背散射式In-lens Duo探测器，带有能量过滤栅网，可分别获得二次电子或背散射电子图像，在低电压下，其二次电子和背散射电子均具有卓越的分辨能力;样品室二次电子探测器;角度选择背散射电子探测器(AsB);X射线能谱仪(EDS);红外CCD相机。通过接收特征X信号，能快速进行样品元素高精度的点、线、面扫描分析。利用氩离子抛光系统(配备有液氮冷台)对样品进行扇形截面(扇形角度为10到90度可调)和平面抛光，可实现对页岩纳米孔隙的观测。

　　6.主要技术指标

　　a.分辨率：0.8 nm@15kV;1.6nm@1kV。

　　b加速电压范围：20V-30kV，以10V步进连续可调。

　　c.放大倍数范围：12x-2,000,000x，高倍率与低倍率连续调。

　　d.探针电流：范围5pA-20nA。

　　e.可分析元素范围：Be4-Am95。

　　f.能量分辨率：优于129eV(Mn K);F元素K峰优于62eV;C元素K峰优于54eV。