SEM扫描电镜的基本操作

　　要获得一张清晰的电镜照片，必须要能够做好*基本的电镜操作、以及针对各种样品做出工作条件的优化。

　　基本操作包括熟练的调节对焦和消像散。对焦相对容易，改变焦距，直至图像最清楚的时刻即为合焦。在偏离焦距较多的时候可以用较高的灵敏度，在合焦点附近调低灵敏度，以便进行对焦。

　　基本操作中消像散相对来说比较麻烦，特别是像散很大时，对于很多初学者来说调节比较困难。不过前面已经介绍了像散的产生，电子束由于不再是圆形，所以在像散未消除的情况下，图像是不清晰的。不过其中有两个特殊的位置，即光学中的子午和弧矢，在这两个位置上束斑完全成正交的直线。而明晰圆一般在弧矢和子午的中间。

　　所以反映在电镜图像上，改变焦距的时候会出现两个严重的拉伸，拉伸方向可能因样品而不同，但是这两个拉伸方向一定正交。所以此时将焦距调节至两个拉伸明显状态的中间位置，基本固定焦距。然后在此焦距下，进行消像散线圈的调节，先调X或Y中的一个维度，待图像达到最清楚后再调节另一个维度。

　　有关拉伸方向的判断并不困难，试样中的各种特征点都可以作为判断依据，比如孔洞或者颗粒(如图5-2)，或者样品边缘(如图5-3)，都可以轻易的进行判断。尤其在像散比较大时，不要焦距和像散的两个维度乱调一气，以免像散过大而完全无从判断。

　　消像散、对焦是扫描电镜操作中最基本的要求，在进行图像观察时要时刻保持合焦和无像散的状态。