扫描电镜广泛用于材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料)、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害(火灾、失效分析)鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。在材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料等领域，进行材料的微观形貌、组织、成分分析。各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体/晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。
一.产品介绍
1.产品简介
蔡司Sigma300电子扫描显微镜是一款利用成熟的Gemini电子光学元件，将的分析性能与场发射扫描技术相结合的仪器。具有多种探测器可选，用于颗粒、表面或者纳米结构成像。
高分辨热场发射扫描电镜，配备能谱分析，主要用于观察、分析和记录材料的微观形貌;以及可以通过配备EDS能谱仪进行材料元素的成分分析;并通过光电附件可以实现光电联用操作，实现微米级的联合定位查找，配置ups(延时30分钟)。
2.产品特点及优势
①电子束噪声较小<1%
电子束噪声越小，拍摄图片信噪比越高，图片质量越好
②束流稳定度优于0.2%/h
蔡司电镜具有全球*佳的束流稳定度，能为用户提供*的成分分析结果，特别是对能谱仪大面积扫描以及波谱仪的分析工作非常重要
③同级别*高分辨率(纳米级)，三维立体效果好，扫描电镜图像景深大(附真实拍摄效果)
GEMINI镜筒--ZEISS场发射电镜由于其独特的镜筒设计(GEMINI镜筒)，具有无与伦比的成像能力,无交叉光路设计,无Boersch(柏旭)效应
④综合分析能力强
可安装多种附件(如能谱仪)，分别检测不同的信号，可以分析成分，含量以及分布
3.主要参数
★①分辨本领(非减速模式)
二次电子像分辨率(蔡司软件算法标准)：1.0 nm (15 kV) 1.6 nm (1kV)
★②电子源加速电压
0.02kV ～ 30 kV(无需减速模式实现)，步进10V，连续可调
③探针电流
4 pA～20 nA，束流稳定性≤0.2%/h
★④放大倍数
范围：10～1,000,000×
放大倍数调整：粗、细调模式连续可调
还具有预设定，自动补偿和校准等校正放大倍数的功能
★⑤电子光学系统
5.1电子发射源：肖特基热场发射非浸没式电子源
★5.2电磁/静电式透镜汇聚系统，有效地提高了分辨率(特别是低电压下的分辨率)，可在小于 1mm 的工作距离条件下高分辨观察磁性材料，图像无变形
5.3聚焦：工作距离：0mm～50mm
控制：具有与灵敏度与放大倍数相关的粗调和细调
还具有自动聚焦控制，聚焦补偿，动态聚焦，旋转补偿，倾斜补偿等多种功能
5.4消像散器：八极电磁式系统
5.5光阑：数量：不少于7个
调整：电磁选择和软件调整
5.6扫描
扫描速率：配置16级扫描速度，从11帧/秒～42分/帧(50 ns/像素～1.64 ms/像素)扫描方式：全帧、选区、定点、线扫描、扫描旋转、倾斜补偿
5.7电子束位移：不小于15µm
★⑥样品室
★6.1样品室尺寸：365mm(直径)x 275mm(高)
6.2样品置换时间(抽真空时间)：不大于5分钟
6.3附件接口：具备十个附件接口，可同时接X射线能谱、背散射电子探测器等
★6.4样品台：配置五轴优中心马达驱动样品台，抽屉式拉门，双操纵杆控制盒，移动*大范围同时满足以下指标：X≥120mm，Y≥120mm，Z≥40mm，双向倾斜，倾斜范围≥70°，旋转≥360°(连续旋转)样品台移动精度：≤2μm
★6.5可放置的*大样品尺寸：直径不小于240mm，高度不小于140mm
★6.6样品台水平移动*大允许承载样品重量：不大于5kg
★⑦探测器
★7.1探测器类型
镜筒内(In-lens)环形二次电子探测器
样品室二次电子探测器
背散射电子探测器
CCD摄像机
7.2控制
自动对比度/亮度
手动对比度/亮度
⑧信号选择
二次电子信号、背散射电子信号等，任何二个通道信号都可进行混合，以获取更佳的图像效果
★⑨图像显示
★9.1图像扫描储存分辨率大于等于32k(横向)×24k(纵向)像素
9.2显示分辨率：1024 x768像素
9.3降噪处理：像素平均、连续平均、帧和行叠加
9.4具有数据区、状态显示、图像注释和测量功能可在Windows支持的外部设备上存储及打印图像
⑩电镜专用电脑操作键盘
具有一体化设计的旋钮式多功能控制面板并集成电脑键盘，可调整电子束聚焦、放大倍数、消像散、电子束对中、扫描旋转、电子束位移等，方便操作
⑪显示器
24"液晶显示器
★⑫真空系统全自动控制
样品室极限真空度：优于2.0×10-4Pa
★⑬能谱35°出射角，工作距离小于等于8.5mm
⑭光、电镜联用
未来可以通过此附件进行光电镜设备链接，可以实现记忆全部特征点，在电镜和光镜不同分析设备中进行全自动快速定位，准确再现同一样区域，在*短的时间得到*准确的结果
⑮其他附件
ups稳压电源(延迟30分钟)
电制冷牛津40mm2能谱仪
★为重点参考项
二.安全使用规范
1.设备使用
★①设备的电源一定要确保持续和稳定
仪器使用结束后按“STANDBY”黄色按钮，禁止按红色“OFF”按钮。每次使用结束后只需关闭电脑显示器电源
②当设备出现短路，起火等重大紧急故障时，切断设备电源和ups电源
③操作移动样品台时，一定要在TV模式下进行，确保其不会撞到探头
④观测过程中，不要误触左侧操作杆，以免样品高度和倾斜度发生变化，损害镜头和探测器
⑤开关仓门时必须轻推轻拉，避免撞击，震动损害探测器
⑥样品一定要固定在样品台上，样品高度应基本一致，样品表面平整，样品大小，重量不得超过规格
★⑦不允许放入液体，有机，生物，不耐热，熔融蒸发，松动粉末或碎屑等有挥发物样品
⑧样品台要固定在样品室基座上，无晃动
⑨样品观测结束一律将高压关掉“EHT OFF”，否则影响灯丝寿命
⑩回收样品时，取出样品后必须抽真空，否则会增加抽真空的时间和难度
⑪使用结束后关闭氮气瓶，重新设定的参数复原
★⑫数据刻录一定要用实验室提供的光盘专门在此机器上刻录，禁止使用在其他机器上刻录过的光盘，禁止使用U盘和移动硬盘
2.样品制备
★①不导电样品要先喷金处理
②样品在高真空中能保持稳定
★③样品不含水分或其他易挥发物，否则应先烘干去除
④表面受到污染的样品应适当清洗，烘干;某些样品应适当侵蚀再清洗，烘干
⑤样品高度应基本一致，样品表面平整，样品大小，重量不得超过规格
块状样品
导电块状样品，用导电胶将样品粘结在样品台上即可
不导电块状样品，预先喷金处理
粉末样品
事先粘结在样品台上(导电胶法)，用吸耳球将未粘住的粉末吹去，不导电样品粘牢后需喷金再观察
